Sa faia le molecular beam epitaxy i se vacuum maualuga po'o se vacuum ultra-high (1 x 10^-8Pa) siosiomaga. O le itu e sili ona tāua o le molecular beam epitaxy o lona fua faatatau maualalo o le teuina, lea e masani ona mafai ai e le ata ona tuputupu aʻe i le epitaxial i le fua faatatau e itiiti ifo i le 3000 nm i le itula. O sea fua faatatau maualalo o le teuina e manaʻomia ai se masini e lava le maualuga e ausia ai le tulaga tutusa o le mama e pei o isi metotia o le teuina.

Ina ia ausia le tulaga maualuga tele o le vacuum e pei ona faamatalaina i luga, o le masini MBE (Knudsen cell) e iai se vaega faamalulu, ma o le siosiomaga vacuum maualuga tele o le potu tuputupu aʻe e tatau ona tausia e ala i le faaaogaina o se faiga e tafe ai le nitrogen vai. E faamaluluina e le nitrogen vai le vevela i totonu o le masini i le 77 Kelvin (−196 °C). O le siosiomaga maualalo o le vevela e mafai ona faaitiitia atili ai le aofaʻi o mea leaga i totonu o le vacuum ma maua ai ni tulaga sili atu mo le teuina o ata manifinifi. O le mea lea, e manaomia se faiga faapitoa mo le faamaluluina o le nitrogen vai mo masini MBE ina ia maua ai se sapalai faifai pea ma le mautu o le -196 °C nitrogen vai.