O le Molecular beam epitaxy, po'o le MBE, o se metotia fou mo le fa'atupuina o ata manifinifi maualuga o tioata i luga o mea fa'avae tioata. I tulaga e matua maualuga lava le vacuum, e fa'apipi'iina le ogaumu fa'avevela i ituaiga uma o vaega mana'omia ma fa'atupuina ai le ausa, e ala i pu na faia pe a uma ona fa'apipi'i le beam atomic po'o le molecular beam, tuiina sa'o i le vevela talafeagai o le mea fa'avae tioata e tasi, ma pulea le molecular beam i le mea fa'avae i le taimi e tasi, e mafai ona faia ai molela'au po'o atoms i totonu o vaega fa'atulagaina tioata e fausia ai se ata manifinifi i luga o se mea fa'avae "tuputupu a'e".

Mo le fa'agaioiga masani o masini MBE, e mana'omia le fa'asalalauina pea ma le mautu o le nitrogen vai maualuga le mama, maualalo le mamafa ma le ultra-ma'alili i totonu o le potu fa'amālūlū o le masini. I se tulaga lautele, o se tane e tu'uina atu ai le nitrogen vai e iai le mamafa i le va o le 0.3MPa ma le 0.8MPa. O le nitrogen vai i le -196℃ e faigofie ona liua i le nitrogen i le taimi o felauaiga i paipa. O le taimi lava e fa'asu'i ai le nitrogen vai ma le fua fa'atatau o le kesi-vai e tusa ma le 1:700 i totonu o le paipa, o le a fa'atumuina ai le tele o le avanoa e tafe ai le nitrogen vai ma fa'aitiitia ai le tafe masani i le pito o le paipa nitrogen vai. E le gata i lea, i totonu o le tane teuina o le nitrogen vai, e foliga mai o lo'o i ai ni otaota e le'i fa'amamaina. I totonu o le paipa nitrogen vai, o le i ai o le ea susu o le a i'u ai fo'i i le gaosia o le aisa. Afai e fa'asa'olotoina nei mea leaga i totonu o masini, o le a mafua ai ona fa'aleagaina le masini e le mafai ona vavaloina.

O le mea lea, o le naitorosene vai i totonu o le tane teuina i fafo e feaveaʻi i masini MBE i totonu o le fale faigaluega e leai se pefu ma le maualuga o le lelei, mautu ma le mama, ma le maualalo o le mamafa, leai se naitorosene, leai ni mea leaga, 24 itula e le motusia, o lea faiga pulea felauaiga o se oloa agavaa.