I le gaosiga o semiconductor, e faʻamoemoeina e sili atu le tele o galuega a faiga tufatufaina o le cryogenic nai lo le na o le fesiitaʻiina o le nitrogen vai poʻo le argon mai le tasi nofoaga i le isi. E tatau ona tumau le mautu, mamā, ma le tasi le vaega o le vai seʻia oʻo i le taimi e faʻaaogaina ai. E oʻo lava i sina vaega itiiti o le vevela e ulufale mai e mafai ona faʻatupuina ai le kesi vave, suiga o le mamafa, poʻo le faʻaleagaina o le susu lea e aʻafia ai le mautu o le faagasologa.

O le mafuaʻaga leaPaipa Fa'amamago Vacuume masani ona faʻaaogaina faiga i totonu o semiconductor fabs nai lo paipa masani e faʻapipiʻiina i le foam. A tuʻufaʻatasia ma se pulega leleiFaiga Fa'a-Dynamic Vacuum Pump, e mafai ona tumau le aofaʻi o le vevela e tafe i lalo ifo o le 3 W/m aʻo faʻatumauina pea le mautu o le vacuum i se taimi umi i le laina fesiitaiga atoa.

Mo faʻaoga semiconductor, e le tatau ona vaʻaia le vacuum insulation o se vaega e le gaoioi i tafatafa o le paipa. O se faiga faʻavevela malosi e manaʻomia ai le faʻatinoga o le vacuum e mafai ona fuaina ma le tausiga i se taimi umi. I siosiomaga gaosiga maualuga le saʻo, e oʻo lava i se siʻitia itiiti o le vevela o le suavai e mafai ona oʻo atu ai i tulaga o le tafe lua-vaega e faʻalavelave ai i matagaluega faʻamālūlū, faiga faʻamamāina, poʻo masini e pulea ai le faagasologa.

Aiseā e Tāua ai le Fa'asalalauina o le Vevela i Faiga Semiconductor Cryogenic

O laina fesiitaiga cryogenic uma e aʻafia i ni auala autū se tolu o le fesiitaiga o le vevela:

• le fa'asalalauina o le la i luga o le avanoa fa'alava
• fa'agasologa o le kesi e mafua mai i molela'au totoe
• fa'asalalauga mautu e ala i lagolago ma mea e fa'avasega ai

I se mamanu ua mamanuina leleiPaipa Fa'amamago Vacuum, o le mamafa fa'anu'u e masani ona fa'aitiitia i lalo ifo o le 1×10⁻⁴ Pa. I lena tulaga o le vacuum, o molela'au kasa o totoe e iai se ala sa'oloto e matua tele atu nai lo le va fa'anu'u, lea e fa'aitiitia tele ai le fe'avea'i o le vevela o le kasa.

O le fesiitaiga o le vevela fa'avevela e pulea e fa'aaoga ai le multi-layer insulation (MLI). O le insulation e aofia ai ni vaega fesuia'i o le apamemea atagia ma le mea e fa'avasega ai le vevela e maualalo le conductivity. Faatasi ai ma le mafiafia sa'o o le vaega ma le auala e fa'apipi'i ai, e mafai ona fa'aitiitia le tafega o le vevela fa'avevela i ni nai watts i le sikuea mita.

O le isi auala fa'avevela e sau tele lava mai lagolago fa'amekanika. Ina ia fa'aitiitia lenei aafiaga, e masani ona fa'aaogaina mea e maualalo le fa'avevela e pei o le G-10 fiberglass po'o le Torlon®. O nei lagolago e mana'omia pea le malosi fa'amekanika e lava e tatalia ai le fa'aitiitia o le vevela, tetete, ma le mamafa o le mafui'e i le taimi o le fa'agaoioiga.

I mamao e fesiita'i ai, e matuā iloga lava le eseesega i le va o le vacuum insulation ma le foam insulation. O se faiga vacuum e tausia lelei e mafai ona faatumauina le faatinoga mautu o le vevela mo le tele o tausaga, ae o le foam insulation e faasolosolo malie ona mitiia le susu mai le ea. O le taimi lava e ulufale ai le susu i totonu o le fausaga o le insulation ma liu aisa, e masani ona faaitiitia le lelei o le vevela i le aluga o taimi.

I faiga fa'atino o le tufatufaina atu o le LN₂ semiconductor,paipa e fa'avevela i le vacuume mafai ona fa'aitiitia ai le pupuna pe a fa'atusatusa i paipa masani e fa'apipi'i i le foam, aemaise lava i luga o auala uumi i fafo po'o ulutala autu e fa'aauau pea ona fa'agaoioia.

Faiga Fa'a-Dynamic Vacuum Pump

O se tasi o faʻafitauli i ofu e faʻaaogaina ai le masini e aveese ai le eletise (static vacuum jacket), o le faʻaitiitia lea o le lelei o le masini i le aluga o tausaga ona o le alu ese o le kasa mai fafo, sosolo atu o le helium i totonu, poʻo le tafega faʻaitiiti.

Mo le foia o lenei mea, o se lautele telePaipa Fa'amamago Vacuume mafai ona fa'apipi'iina polokalama i seFaiga Fa'a-Dynamic Vacuum Pump. E masani ona aofia i le faiga se fa'atulagaga la'ititi o le turbomolecular po'o le pamu scroll lea e toe fa'afo'isia ai i lea taimi ma lea taimi le annular vacuum i lona tulaga muamua na mamanuina ai.

E mata'ituina pea lava pea le maualuga o le masini e fa'aaoga ai fua o le cold-cathode. E fa'agaoioia le pamu pe a si'itia le mamafa i tua atu o le seti fa'amoemoeina, o lea e tumau pea le maualalo o le fa'aaogaina o le eletise ma mana'oga tau tausiga.

I se tasi o galuega faatino o le faaleleia atili o le nofoaga o semiconductor i Hsinchu, Taiwan, o se faiga pamuina o le vacuum e pulea lelei na mafai ai e se ulu LN₂ ua leva ona faaliliuina le eletise ona toe faaleleia le faatinoga o le vevela e latalata i lona tulaga muamua e aunoa ma le tapunia o le laina gaosiga. Mo galuega faatino fou, o le tausiga o le vacuum e maua ai foi e le au faagaoioia le mautinoa sili atu i le mautu o le insulation i se taimi umi i le olaga atoa o le faiga.

Meafaitino ma le Fuafuaga o le Faiga

Mo fa'aoga semiconductor ma fa'aoga e matua'i mama, o le paipa fa'agasolo i totonu e masani ona gaosia mai le u'amea e le gaoia 304L po'o le 316L. O luga i totonu e fa'amamāina, fa'amamāina, ma fa'aaogaina e le eletise e fa'amama ai ina ia fa'amalieina ai mana'oga o le tautua e fa'amamāina ai le okesene ma fa'aitiitia ai le lamatiaga o le fa'aleagaina.

E mafai ona fa'aogaina le u'amea kaponi vali pe u'amea e le gaoia e fuafua i le siosiomaga e fa'apipi'i ai. I nofoaga e lata ane i potu mama, e masani ona fa'aaogaina u'amea e le gaoia e 'alo ai mai le 'ele po'o le fa'aleagaina o le fogaeleele.

E manaʻomia foʻi ona mafaufau ma le faʻaeteete i le faʻaitiitia o le vevela. E mafai e se laina fesiitaʻi LN₂ ona faʻaitiitia pe tusa ma le 2.5–3 mm i le mita i le va o le vevela o le siʻosiʻomaga ma le vevela o le faʻagaioiga. Ina ia faʻaaogaina lenei gaioiga, e masani ona faʻapipiʻi ni faʻaopoopoga faʻalauteleina e pei o le bellows i nofoaga taula ua fuafuaina i totonu o le fesoʻotaʻiga paipa.

Afai e manaʻomia le gaoioi poʻo le fetuutuunaʻi,Paipa Fetu'una'i e Fa'amamago ma le VacuumE masani ona fa'aaogaina fa'apotopotoga. O nofoaga masani e aofia ai feso'ota'iga o tane, feso'ota'iga o masini, lālā manifold, ma fa'ase'e fa'agasologa feavea'i.

O nei paipa fetuutuunai e fa'aaogaina se totonugalemu i totonu e fa'apipi'i fa'atasi ai ma se ufi e fa'amama ai le ea ma le fausaga MLI e tutusa ma le paipa fa'amama e le'i fa'amama ai le ea. O fa'apotopotoga ua mamanuina lelei e mafai ona fa'atumauina le tumau o le fa'amama e le'i fa'aaogaina pe a uma ona toe fa'asolosolo le fa'asolosolo o le vevela o le ea a'o puipuia ai fo'i le fa'atupuina o le aisa i fafo e masani ona tupu i paipa e le'i fa'apipi'iina i le ea.

Vali Fa'amama VacuummaVaega e Vavae'esea

E lē gata i vaega sa'o o paipa le puleaina o le tafe o le vevela. Vali mavavae'ese vaegae iai fo'i se sao taua i le faatumauina o tulaga mautu o le tafega o le cryogenic.

A Vali Fa'amama Vacuume masani ona fa'aogaina se pulou fa'alautele ma se tino e ufiufi i le vacuum e taofia ai vaega taua o le fa'amaufa'ailogaina mai le vevela maualalo tele. E fesoasoani lea e puipuia ai le aisa i tafatafa o le fa'apipi'iina o le 'au ma fa'aitiitia ai le fa'aputuga e le mana'omia i totonu o le fausaga o le valve.

A aunoa ma le vacuum insulation, e mafai e valve ona avea ma nofoaga e tafe ai le vevela i totonu o le masini. I le auaunaga cryogenic vai, e mafai ona mafua ai ni ausa i se nofoaga patino, tulaga le mautu o le tafe, po'o ni fa'alavelave fa'afuase'i o le water samala.

Mo faiga fa'agasologa semiconductor, o valve globe extended-bonnet ma valve polo pito i luga e masani ona fa'aaogaina e tusa ai ma mana'oga o le ASME B31.3 ma le EN 13480.

A Vaevae Vaega Fa'a'ese'ese Vacuume fa'aaogaina e aveese ai le kesi vave a'o le'i ulufale atu le vai i masini maaleale i lalo ifo. I fa'aoga semiconductor, o le tafe mautu e lua-vaega e mafai ona mafua ai ni suiga tetele o le mamafa e fa'agaoioia ai fa'ailo o le fa'agasologa po'o le feso'ota'iga o masini.

O le tele o mamanu o le vavae'ese e fa'aaogaina se ala e ulufale ai fa'atasi ai ma se fausaga o le demister i totonu e fa'aleleia atili ai le lelei o le vavae'esega o le ausa ma le vai. I le tele o galuega faatino, e tu'ufa'atasia le vavae'ese ma se Tanka La'ititi e fa'apipi'i lata ane i le fola o le fa'agasologa. O le tane la'ititi e galue o se voluma fa'alotoifale e fesoasoani e fa'amautu ai suiga o mana'oga i se taimi pu'upu'u e aunoa ma le fa'aopoopoina o se avega vevela tele.

Fa'ata'ita'iga o le Galuega Faatino o le Semiconductor

O se galuega fa'alautelega o le nofoaga o le DRAM i Korea i Saute na mana'omia ai se feso'ota'iga tufatufaina fou a le LN₂ e fa'aogaina ai meafaigaluega fa'ata'ita'i e fa'asusu ma fa'asusu ma meafaigaluega e fa'agasolo ai le wafer.

O le fa'apipi'iina e aofia ai le pe tusa ma le 180 mita o Paipa Malō ua Fa'apipi'i i le Vacuum Insulated e fa'apipi'i i le tele o lālā o meafaigaluega e ala i fa'apotopotoga o Hose Fetu'una'i ua Fa'apipi'i i le Vacuum Insulated. O se Vacuum Insulated Phase Separator ma se Mini Tank e 2 m³ na fa'apipi'iina lata ane i le nofoaga e teu ai mea tetele.

Na tausia e le Dynamic Vacuum Pump System le mamafa o le annular i lalo ifo o le 5×10⁻⁶ mbar i luga o laina fesiitaiga autu e 6-inisi.

I le taimi o le fa'atinoina, o le fua o le vevela na tafe i luga o le ulutala autu e tusa ma le 1.3 W/m i lalo o tulaga fa'agaoioia mautu. A mae'a le tausaga e tasi o le fa'aauau pea o le fa'aaogaina, o ta'amilosaga fa'asolosolo o le toe fa'aleleia o le masini e fa'atumauina ai le fa'atinoga o le insulation e latalata i le tulaga muamua.

Pe a faatusatusa i le manatu muamua o le foam-insulated, na lipotia mai e le nofoaga le maualalo o le gau o le nitrogen vai ma le faaleleia atili o le mautu o le faagaoioiga. O faamaumauga o faagasologa na faaalia ai foi e leai ni mea na tutupu e mafua mai i le susu e fesootai ma le faaleagaina o le insulation.

Talosaga

E fa'aaogaina lautele faiga fa'aliliuina o le cryogenic e fa'apipi'i i le vacuum insulated i le gaosiga o semiconductor, atina'e o le LNG, tufatufaina atu o kesi tau alamanuia, ma fa'aoga o le hydrogen vai.

E ui ina eseese siosiomaga fa'atino, ae e tumau pea le sini fa'ainisinia:

• tausia le mautu o le vacuum
• fa'aitiitia le vevela e ulufale mai
• fa'atumauina le mautu o le vaega i le faagasologa atoa o le fesiitaiga

O le mamanuina o le polokalama e masani ona mulimulita'i i tulaga fa'avaomalo e pei o le ASME B31.3, EN 13480, ma le ISO 21029 e fuafua i le lautele o le galuega faatino ma mana'oga fa'aitulagi.

Mo nofoaga semiconductor, o le faʻatinoga o le faiga tufatufaina atu o le cryogenic e aʻafia saʻo ai le lelei o le faʻagaioiga, le faʻaaogaina o vai, ma le faʻatuatuaina o le faʻagasologa i se taimi umi. Ona o lena mea, o paipa, valves, separators, ma faiga tausiga o le vacuum e tatau ona mamanuina o se faiga faʻavevela tuʻufaʻatasi e tasi nai lo ni vaega tutoʻatasi.

At HL Cryogenics, matou te galulue faʻatasi ma konekarate EPC, kamupani kesi, ma nofoaga o semiconductor e atiaʻe ni fofo faʻaliliuina o le cryogenic e faʻavae i luga o tulaga faʻagaioiga moni, sini o le avega vevela, ma manaʻoga o le faʻapipiʻiina nai lo faʻatulagaga masani o le lisi oloa.

Afai o loʻo e fuafuaina se galuega fou o le semiconductor fab poʻo le faʻaleleia atili o se fesoʻotaʻiga tufatufaina atu o le LN₂ o loʻo iai, e mafai e le matou 'au inisinia ona fesoasoani e iloilo le faʻatinoga o le faʻaletonu o le vevela, fuafuaga mo le faʻamamaina o le masini, ma le faʻatulagaina o le faiga mo le faʻagaioiga i se taimi umi.